노광(Expouser)후 Negative or Positive된 PR를 제거하는 공정 라인 설비
4열 Cell type class 반송에 특화된 장비로 Shower 나 반송 중 Class의 틀어짐을 극단적으로 억제하여 원활한 공정을 수행 할 수 있도록 설계
Cleaner 신규 제작
PR전 Class의 표면의 이물질 제거 및 개질 향상을 위한 세정기
4열 Cell type class 반송에 특화된 장비로 Shower 나 반송 중 Class의 틀어짐을 극단적으로 억제하여 원활한 공정을 수행 할 수 있도록 설계
O.C Developer
노광(Expouser)후 Negative or Positive된 PR를 제거하는 공정 라인 설비
4열 Cell type class 반송에 특화된 장비로 Shower 나 반송 중 Class의 틀어짐을 극단적으로 억제하여 원활한 공정을 수행 할 수 있도록 설계
TRY CLEANER
PR용 TRY 세정기로 고착성 이물를 제거하기 위한 고압의 세정과 TRAY가 형상을 가지고 있어 DRY에 중점을 두어 설계
CF CLEANER
CF공정전 Cassette를 투입하여 Index로 통하여 낱장으로 투입하고 EUV Module를 통하여 Class의 개질를 극대화고 두 구간의 Roll Brush(각각 다른 Cheamical 사용 가능)를 통하여 최적의 세정 효과를 제공하며 낱장으로 투입된 Class는 Out단의 CST index를 통하여 적재된 뒤 반출된다.
DES
총 정비 길이 20M를 초과하는 장비로 Develop , Etcher, Strip이 한 장비에 구성된 Roll to Roll 장비로 노광 공정후 Photography 공정을 한 설비로 완료할 수 있도록 설계