장비 제작 업무 Flow

Developer 신규 제작

• 노광(Expouser)후 Negative or Positive된 PR를 제거하는 공정 라인 설비
• 4열 Cell type class 반송에 특화된 장비로 Shower 나 반송 중 Class의 틀어짐을 극단적으로 억제하여 원활한 공정을 수행 할 수 있도록 설계

Cleaner 신규 제작

• PR전 Class의 표면의 이물질 제거 및 개질 향상을 위한 세정기
• 4열 Cell type class 반송에 특화된 장비로 Shower 나 반송 중 Class의 틀어짐을 극단적으로 억제하여 원활한 공정을 수행 할 수 있도록 설계

O.C Developer

• 노광(Expouser)후 Negative or Positive된 PR를 제거하는 공정 라인 설비
• 4열 Cell type class 반송에 특화된 장비로 Shower 나 반송 중 Class의 틀어짐을 극단적으로 억제하여 원활한 공정을 수행 할 수 있도록 설계

TRY CLEANER

• PR용 TRY 세정기로 고착성 이물를 제거하기 위한 고압의 세정과 TRAY가 형상을 가지고 있어 DRY에 중점을 두어 설계

CF CLEANER

• CF공정전 Cassette를 투입하여 Index로 통하여 낱장으로 투입하고 EUV Module를 통하여 Class의 개질를 극대화고 두 구간의 Roll Brush(각각 다른 Cheamical 사용 가능)를 통하여 최적의 세정 효과를 제공하며 낱장으로 투입된 Class는 Out단의 CST index를 통하여 적재된 뒤 반출된다.

DES

• 총 정비 길이 20M를 초과하는 장비로 Develop , Etcher, Strip이 한 장비에 구성된 Roll to Roll 장비로 노광 공정후 Photography 공정을 한 설비로 완료할 수 있도록 설계